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中鍺科技有限公司年產100萬片半導體晶圓生產線技改項目環境影響評價第二次公示

發布時間：2019-12-18 08:19 瀏覽量：4741

中鍺科技有限公司年產100萬片半導體晶圓生產線技改項目

環境影響評價第二次公示

（一）項目概況

項目名稱：中鍺科技有限公司年產100萬片半導體晶圓生產線技改項目；

建設地點：南京市溧水經濟技術開發區中興東路9號，中鍺科技有限公司現有廠區內；

建設內容：項目擬購置內圓切片機、滾圓機、研磨臺、拋光清洗臺、單面拋光機、雙面研磨機、雙面拋光機、外圓磨床、全自動超聲清洗機等設備共計330臺（套），新增建筑面積10000平方米，對太陽能鍺襯底晶圓生產線進行技術改造，同時新建磷化銦和砷化鎵生產線，項目建成后可形成年產太陽能鍺襯底晶圓60萬片、磷化銦晶圓20萬片、砷化鎵晶圓20萬片的生產能力。

（二）項目對環境可能造成影響的概述及預防或減輕不良環境影響的措施

建設項目施工期的影響主要來自施工固廢、施工噪聲等。建設項目運行期的影響：廢水主要為含砷廢水、酸堿廢水、有機廢水、循環冷卻水、純水制備廢水和生活廢水；廢氣主要為酸性廢氣、堿性廢氣和有機廢氣；固廢主要是一般工業固廢、廢油泥、廢乙醇、廢顯影液、廢拋光液等危廢、生活垃圾等；項目噪聲主要來自單晶生長設備、內圓切片機、激光劃片機、雙面研磨機、拋光機等設備。

廢水處理措施：本項目廢水包括生產廢水和生活污水。生產廢水包括含砷廢水、酸堿廢水、有機廢水、循環冷卻水、純水制備廢水等，其中含砷廢水經含砷廢水處理站處理后回用不外排，其余生產廢水經廠區現有污水處理站處理后與經化糞池處理后的生活污水一并接管溧水秦源污水處理廠集中處理后排放至一干河。廢水處理措施總體可行。

廢氣處理措施：本項目產生的廢氣主要有酸性廢氣、堿性廢氣和有機廢氣，酸堿廢氣經二級堿噴淋裝置處理后經15m高排氣筒排放；有機廢氣經RTO+沸石轉輪裝置處理后經15m高排氣筒排放。大氣環境影響預測結果表明，在廢氣處理措施裝置正常運行的情況下，排放的大氣污染物對周圍地區空氣質量影響很小，不會造成區域空氣環境質量下降和環境功能的改變。

噪聲處理措施：本項目主要噪聲源有單晶生長設備、內圓切片機、激光劃片機、雙面研磨機、拋光機等設備。本項目在設備采購階段即選用功率小，噪聲低的設備，從而從聲源上降低設備本身的噪聲；將噪聲較大的單晶生長設備、內圓切片機等設備置于室內以防止噪聲的擴散與傳播等。通過采取以上措施，本工程的廠界噪聲均可滿足排放標準。

固廢處理措施：本項目產生的危險固體廢物委托有資質的單位進行處理，可確保危險固廢的無害化處理。一般固廢和生活垃圾由環衛統一處理。本項目不會產生固體廢物的二次污染環境問題。

綜上可知，本項目對建設期和運行期所排放的污染物均采取了有效的污染控制措施，可做到污染物達標排放。

（三）環境影響評價結論

建設項目符合產業政策，建設項目擬采取有效的污染控制措施，建成后三廢可以實現達標排放，可以滿足總量控制要求，項目實施后對周圍環境影響不大。在采取以上環保措施的前提下，從環境保護的角度看，本項目的建設是可行的。

（四）征求意見的公眾范圍

本次征求公眾意見的范圍是建設項目所在地周圍的、關注本項目建設的公眾，征求對本工程環境保護方面的意見，非環境保護方面的內容不在征求范圍。

（五）公眾提出意見的方式和途徑

公眾可填寫建設項目公眾意見表（見網絡鏈接），通過郵寄信函（以郵戳日期為準）、傳真、電子郵件將填寫的公眾意見表提交建設單位或環評單位，并請注明發表日期、真實姓名和聯系方式。

（1）建設單位聯系方式

單位名稱：中鍺科技有限公司

電話：025-56209510

聯系人：王飛